由六氟化硫气体的基本物理特性可知，它与空气相比是比较容易液化的气体。六氟化硫的状态决定于其压力和温度等参数。

　　六氟化硫气体临界温度是表示气体可以被液化的高温度极限。临界温度越低，表示该气体越不容易被液化。该气体的临界温度为45.6℃，当温度高于45. 6℃后才能恒定地保持气态。在该温度以下，只要压力足够高就可以被液化(如0℃时大约在1.2MPa时开始液化)。但对于N2，常温下不存在液化问题，只有在温度低于-146.8℃后才可能被液化。

　　六氟化硫气体临界压力表示在临界温度下出现液化所需要的压力，亦即该温度下的饱和蒸汽压力。在临界温度下，饱和蒸汽的密度和液态的密度相同，它们之间的界线消失了。汽化热变为零，物理特性方面没有差别。

　　高纯六氟化硫是无毒的惰性气体。但气体的质量约为空气的5倍。在高压配电室或电缆沟内，一旦六氟化硫断路器内部有大量的气体溢出时，六氟化硫先沉积在底部，然后不断地从低处向高处堆积，将相应空气赶走。当工作人员进入室内或电缆沟内时，会吸人沉积在底部的气体，从而造成缺氧或窒息。

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