1、电子工业：六氟乙烷作为等离子蚀刻工作气体在发展微电子工业方面起着重要作用，是加工超大规模集成块工艺中所必需的介质； 

    2、制冷空调业：六氟乙烷右用做制冷和空调的冷媒。六氟乙烷还可与HFC-23组成不损害臭氧层的共沸剂R-508B,R-508B用做多级压缩循环中在低温段替代CF-13和R-503的替代物；

    3、化学工业：六氟乙烷可用做化学反应中的添氟剂；

    4、电力工业：六氟乙烷可用做电气设备的绝缘剂和高介电强度冷却剂；

    5、其它：六氟乙烷可用于器件表面清洗，还可用于光纤生产等。