在工业生产中，六氟化硫厂家通常是通过电解产生氟，在中高温下，使氟与硫发生反应，从而制备出六氟化硫。 除六氟化硫外, 这种方法还会生成少量的四氟化硫等副产物。一般来说，氟硫合成的方法有氟气与固体硫磺、与熔融硫磺、与硫磺蒸气三种生产方式。

　　氟气与固体硫磺：因氟硫反应很激烈，放出大量热量, 难以控制反应温度, 导致副产物增加，使后序处理流程复杂。同时，向密封的反应器中连续加入固体硫磺比较困难。因此，六氟化硫厂家很少使用这种方法。

　　氟气与硫磺蒸气：六氟化硫厂家将硫磺加热到445 ℃以上, 使硫变成蒸气，送入反应器与氟发生反应。这种方法也有反应温度难控制的缺陷。

　　氟气与熔融硫磺：这种六氟化硫气体的生产方法是将反应器中的硫磺保持在85～105 ℃的熔融状态下，与通入的氟气发生反应。这种生产方法的反应温度比较易控制。

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