高纯六氟化硫无色、无味、不燃烧，无电抗性的、相对无毒。液化瓶装气体，压力为其蒸气压。以其良好的绝缘性能和灭弧性能，被广泛应用于电器工业，如：断路器、高压开关、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。还因其化学惰性、无毒 、不燃及无腐蚀性，还被广泛应用于金属冶炼、航空 航天、医疗、气象、化工等。

　　电子级高纯六氟化硫是一种电子蚀刻剂，用于微电子技术。随着科技发展，SF6涉及的领域不断扩展，被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用，在制冷行业，用六氟化硫做制冷剂，致冷范围可在-45℃～0℃之间。

　　例如，断路器是利用高纯六氟化硫作为灭弧介质和绝缘介质的一种断路器。由于气体的优异特性，使断路器单断口在电压和电流参数方面大大高于压缩空气断路器和少油断路器，并且不需要高的气压和相当多的串联断口数。

　　同时还用作镁铝合金压铸的保护气体。六氟化硫气体作为一种理想的电子蚀刻气体，广泛应用于微电子技术领域。作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂。大气污染监测,水文地质检测领域的示踪剂。肝脏肿瘤的超声造影检查的造影剂也作为其用途。

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