纯净的六氟化硫气体是无毒的，但其在生产过程中会有少量生成物。这些生成物中有些成分是有剧毒的，须经净化处理，将其完全除净才可使用。

　　虽然高纯气体无毒，但在工作场所中要防止六氟化硫气体发生泄漏，导致浓度迅速上升。该气体一旦发生泄漏，其危害巨大。又如果气体不纯，不仅对人体有害，对电气设备还有腐蚀作用，造成泄漏。因此，保证气体纯度非常重要。

　　检测气体纯度，一般使用六氟化硫气体纯度分析仪，市面上对高纯六氟化硫纯度进行分析的仪器种类和价格各异，热导法是检测气体纯度的主要方法。

　　当浓度过大时，就会使人窒息，因此六氟化硫气体生产场所在设计户内通风装置时，一定要考虑这一情况。通过对流，该气体还会与空气混合。

　　另外，高纯六氟化硫一旦与空气混合，就会形成混合气体，不会再次分离。在电弧作用下，还会生成含有剧毒的分解物，它们还有强烈的腐蚀性。

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