高压电气设备中，六氟化硫气体因其优良的灭弧性能和绝缘特性，被作为灭弧和绝缘的介质而广泛应用，高压电气设备中不同绝缘缺陷引起的局部放电会产生分解化合气体，相应的分解化合气体成分、含量以及产生速率等也有差异，这样使得通过分析分解产物的组分来判断故障类型成为可能。并可以通过检测设备中SF6气体分解气体组分及化合产物，来判断绝缘缺陷类型、性质、程度及发展趋势。

　　对于正常运行的电气设备，其内部温度不高于80℃，因此，不会有SF6等绝缘材料的分解产物，但若设备内部存在局部放电和严重过热性故障时，将使故障区域的固体绝缘材料和六氟化硫气体发生分解。

　　若进行所有的产物检测，虽能更准确的判断内部故障的部位，但是由于上述的物质中除二氧化硫、硫化氢、四氟化碳、一氧化碳毒性较少外，其它都是剧毒，在设备内部的含量极少，又不稳定。含量稍多的四氟化硫、二氟化氧硫等有很快会与六氟化硫气体中的水分进行水解反应产生稳定的二氧化硫和氟化氢。

　　因此，气室中的二氧化硫含量除了由SF6和固体绝缘材料分解直接生成外，还会由二氟化氧硫等的水解产生。固体绝缘材料主要有环氧树脂、聚四氟乙烯、聚丙烯、聚脂乙烯、聚酰胺树脂、绝缘纸和漆等，当故障点温度达到200℃时，聚脂乙烯、绝缘纸和漆开始分解，主要产生二氧化碳一氧化碳和低分子烃。

　　当故障点温度达到500℃时，黎明六氟化硫和其他固体绝缘材料开始分解，主要产生二氧化硫、硫化氢、二氟化氧硫、四氟化碳、氟化氢、二氧化碳一氧化碳和低分子烃。

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