一、产品介绍       

 二、技术指标

三、包装规格

*可根据客户要求提供其它规格的包装。

四、六氟乙烷的应用 

   微电子工业中用于等离子蚀刻气体，以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。

五、注意事项

    储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库房温度不宜超过50℃；应与易（可）燃物、氧化

剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作

规程。密闭操作，局部排风。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。本品可引起快速窒息，

可视为无毒气体，但与可燃气体一同燃烧时，分解产生有毒的氟化物，发现中毒时，应立即将受害者

转移到无污染区，必要时施以人工呼吸，请医生诊治。瓶装气体产品为高压液化气体，使用时应经减

压降压后方可使用，每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.3MPa，***小不得低于0.2MPa余压，

将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁明火烘烤气瓶，严禁野蛮

装卸。钢瓶瓶颈上有钢瓶检验时间，不符合要求的钢瓶应委托菲利尔特种气体等供应商到有资质的压力

容器检验单位进行检验。严禁使用过期钢瓶。