高压开关里面六氟化硫(SF6)气体的杂质种类和浓度，受运行时间、开断次数、微水含量和新气杂质等多个因素影响，情况各不相同。SF6气体在设备里经过长期运行，在水分和电弧等作用下，会产生一些有毒的分解产物，公认的气态产物主要有：HF、SO2、SOF2、SO2F2、SF4、H2S等，固态分解产物有SiF4、AlF3、CuF2d等。这种气体如果直接排放，将造成周围环境的严重污染，所以我们必须对废旧的六氟化硫气体进行回收净化处理，以期能再次利用。

拉回工厂的SF6废气，回放到六氟化硫气体生产系统中，经过高温裂解、除尘、水洗、碱洗、吸附、低温精馏等一系列纯化工艺，将被彻底的净化，达到符合新气标准的合格气体。